GB/T 46699-2025 電子級(jí)四甲基硅烷

范圍
本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)用電子級(jí)四甲基硅烷的技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、隨貨資料、運(yùn)輸、貯存及安全警告的要求，描述了相應(yīng)的檢測(cè)方法。
本文件適用于沉積氧化硅、碳化硅等硅基薄膜的電子級(jí)四甲基硅烷，作為集成電路的刻蝕硬掩層、介電層等功能層；也適用于高純電子清洗劑和標(biāo)準(zhǔn)試劑的電子級(jí)四甲基硅烷。

術(shù)語和定義
本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。

技術(shù)要求
電子級(jí)四甲基硅烷應(yīng)符合表1的規(guī)定。




檢測(cè)方法
水分含量的測(cè)定
所用微量水分測(cè)定儀應(yīng)符合 GB/T 26793 規(guī)定，測(cè)定方法應(yīng)按 GB/T 6324.8 的規(guī)定執(zhí)行。
可采用其他等效的方法測(cè)定四甲基硅烷中水含量。當(dāng)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以 GB/T 6324.8 規(guī)定的方法為仲裁方法。
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